半導體製造プロセス、設備の監視|および管理のためのソリューション

半導體ウエハーおよびマイクロエレクトロニクス製造プロセスは、わずかなミスも許されない厳しいプロセスです。業界では、化學組成および大気條件を正確に監視、計測できる高品質な計裝が強く求められています。ヴァイサラは、バルクケミカルおよびスラリーの供給、塗布、および使用點での混合、添加、研磨に関わるプロセスのインライン濃度モニタリング用の半導體製造プロセス向け屈折計を提供するとともに、半導體裝置および半導體設備の內部および周囲の濕度、露點、溫度、圧力の計測機器も提供しています。

窒素ガスライン

圧縮空気および|窒素のプロセスライン

圧縮空気や窒素のプロセスラインを使用する場合、露點計測をすることで過度な空気乾燥と機器の腐食を避けられ、リソースを節約できます。ヴァイサラのDRYCAP?技術により、正確かつメンテナンスの必要性が低い、迅速な応答性が実現します。

設備管理

設備管理

換気が不十分だと従業員の健康が損なわれるだけでなく、生産性が 18% も低下します。信頼性と耐久性を備え、追跡可能なHVACセンサの利用により、濕度、CO2 、溫度を正確に計測することで、高いエネルギー効率と従業員の健康向上を同時に実現できます。

ヴァイサラが選ばれる理由

ヴァイサラは半導體産業に深く精通しており、お客様の信頼できるパートナーとして貢獻しています。化學物質やプロセス品質のモニタリングから外気モニタリングまで、さまざまな重要な半導體プロセス向けの製品の設計、製造を通じて、半導體事業を徹底的に熟知しています。自社のクリーンルームでプロセスの解析が行われ、ヴァイサラ製品や研究開発用に高品質のマイクロチップを製造しています。ヴァイサラはプロダクトライフサイクル全體を通した製品サポートに取り組んでおり、優れたサービスとサポートをお近くの地域で提供しています。